Технические условия распространяются на воду особой чистоты марки осч 27-5, предназначенную к применению для получения продуктов, используемых в полупроводниковой технике
Оглавление:
1 Технические требования 2 Требования безопасности 3 Правила приемки 4 Методы анализа 5 Транспортирование и хранение Приложение 1. Перечень ГОСТов, на которые даны ссылки в технических условиях