ГОСТ Р 8.636-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

Обозначение:	ГОСТ Р 8.636-2007
Обозначение англ:	GOST R 8.636-2007
Статус:	введен впервые
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки
Название англ.:	State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.08.2008
Область применения:	Стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров, и устанавливает методику их калибровки.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Технические требования 5 Требования к квалификации калибровщиков 6 Требования по обеспечению безопасности 7 Подготовка к процедуре калибровки 8 Процедура проведения измерений 9 Обработка результатов измерений 10 Оценка неопределенности измерений параметров 11 Оформление результатов калибровки Библиография
Разработан:	ОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума Государственное образовательное учреждение высшего професионального образования Московский физико-технический институт (государственный университет)
Утверждён:	20.11.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (319-ст)
Издан:	Стандартинформ (2008 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом
Нормативные ссылки:	ГОСТ 12.2.061-81 «Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам» ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1» ГОСТ ИСО 14644-1-2002 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха» ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация» ГОСТ Р 8.628-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления» ГОСТ Р 8.629-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки» ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения» ПР 50.2.018-95 «Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок аккредитации метрологических служб юридических лиц на право проведения калибровочных работ» ПР 50.2.016-94 «Государственная система обеспечения единства измерений. Требования к выполнению калибровочных работ» ГОСТ 21006-75 «Микроскопы электронные. Термины, определения и буквенные обозначения» СанПиН 2.2.2/2.4.1340-03 «Гигиенические требования к персональным электронно-вычислительным машинам и организации работы» СанПиН 2.2.4.1191-03 «Электромагнитные поля в производственных условиях» РМГ 43-2001 «Государственная система обеспечения единства измерений. Применение "Руководства по выражению неопределенности измерений"» ПОТ Р М-016-2001 «Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок» ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха» Федеральный закон 184-ФЗ «О техническом регулировании»