| Обозначение | Дата введения | Статус |
  ГОСТ 14715-88 Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры | 01.01.1990 | действует |
Название англ.: Vacuum valves. Types. Main charecteristics Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сверхвысоковакуумные угловые клапаны и прямоходные затворы климатического исполнения УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150, работающие в диапазоне давлений до 1х10 в ст. минус 7 Па и имеющие уплотнители, выполненные из термостойкой резины и допускающие прогрев до температуры не ниже 150 град. С Нормативные ссылки:  ГОСТ 14715-77;ГОСТ 14716-77;ГОСТ 14717-77;ГОСТ 14718-77, ГОСТ 15150-69;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;ГОСТ 25197-82;ГОСТ 26526-85 |
| ГОСТ 18626-73 Проходы условные элементов вакуумных систем. Основные размеры | 01.01.1976 | не действует в РФ |
| Название англ.: Bore diameters of components of vacuum systems. Basical dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд номинальных размеров условных проходов Нормативные ссылки: СТ СЭВ 1078-78, ГОСТ Р 52912-2008 |
| ГОСТ 24206-80 Приборы и устройства пневматические для математических операций ГСП. Общие технические условия | 01.01.1982 | действует |
| Название англ.: Pneumatic mathematic operation instruments and devicas SSI. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические приборы и устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для выполнения математических операций с унифицированными аналоговыми пневматическими сигналами Нормативные ссылки: ГОСТ 16134-70;ГОСТ 17560-72, ГОСТ 26.015-81;ГОСТ 27.410-87;ГОСТ 2939-63;ГОСТ 12997-84;ГОСТ 13053-76;ГОСТ 17433-80;ГОСТ 27883-88 |
| ГОСТ 24934-81 Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | не действует в РФ |
| Название англ.: Vacuum equipment. Fixed screw flanges. Basic and allied dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает основные и присоединительные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032 Нормативные ссылки: ГОСТ Р 52856-2007, ISO 1609-1986-03-15;ГОСТ 8032-84 |
| ГОСТ 24935-81 Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | не действует в РФ |
| Название англ.: Vacuum equipment. Turning screw flanges. Basic and allied dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 Нормативные ссылки: ГОСТ Р 52856-2007, ГОСТ 8032-84 |
| ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | 01.07.1983 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2760-80, ГОСТ 24786-81 |
| ГОСТ 25197-82 Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры | 01.07.1983 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5 Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2761-80, ГОСТ 8032-84;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81 |
| ГОСТ 25198-82 Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры | 01.07.1983 | не действует в РФ |
| Название англ.: Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5 Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2762-80, ГОСТ Р ИСО 9803-1-2013, ГОСТ 8032-84;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;СТ СЭВ 298-76 |
| ГОСТ 25662-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний | 01.01.1984 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods Область применения: Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций Нормативные ссылки: Утратил силу на территории РФ в части измерения критического давления на выходе, с 01.07.2011 действует ГОСТ Р 54108-2010, ГОСТ Р 54108-2010, ГОСТ 5197-85;ГОСТ 26790-85;СТ СЭВ 3407-81 |
| ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний | 01.01.1984 | заменён |
| Название англ.: Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия Нормативные ссылки: ГОСТ 32974.2-2023, Утратил силу на территории РФ в части измерения предельного остаточного давления, с 01.07.2011 действует ГОСТ Р 54107-2010, СТ СЭВ 3409-81, ГОСТ Р 54107-2010, ГОСТ 5197-85;ГОСТ 26790-85 |