Термин
|
Буквенное
обозначение
|
Определение
|
1. Электронный
микроскоп
D. Elektronenmikroskop
E. Electron
Microscope
F. Microscope
électronique
|
-
|
Микроскоп, формирующий
изображение объекта электронными пучками средствами электронной оптики
|
|
2.
Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ)
Ндп. Трансмиссионный
электронный микроскоп
D.
Durchstrahlungs-Elektronenmicroskop
E.
Transmission electron microscope
|
-
|
Электронный микроскоп,
формирующий изображение объекта электронными пучками, проходящими сквозь этот
объект
|
3. Растровый
электронный микроскоп (РЭМ)
Ндп. Сканирующий электронный
микроскоп
D.
Rasterelelektronenmikroskop
E. Scanning
electron microscope
|
-
|
Электронный микроскоп,
формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным
зондом
|
4.
Отражательный электронный микроскоп
D. Reflexions-Eletronenmikroskop
E. Reflection
electron microscope
|
-
|
Электронный микроскоп,
формирующий изображение объекта электронными пучками, отраженными этим
объектом
|
5. Эмиссионный
электронный микроскоп
D. Emissions-Elektronenmikroskop
E. Emission
electron microscope
|
-
|
Электронный микроскоп,
формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим
объектом
|
6. Зеркальный
электронный микроскоп
D. Spiegelelektronenmikroskop
E. Mirror
electron microscope
|
-
|
Электронный микроскоп,
формирующий изображение объекта, являющегося катодом электронного зеркала
|
7. Автоэлектронный
проектор
Ндп. Микропроектор
Микроскоп-проектор
|
-
|
Электронный микроскоп,
формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим
объектом под воздействием электрического поля
|
|
8.
Электронная пушка электронного микроскопа
Электронная пушка
D. Elektronenstranhler
E. Electron
gun
|
-
|
Эмиссионная система, предназначенная
для ускорения электронов в электронном микроскопе
|
9. Электронное
зеркало
D. Elektronenspiegel
E. Electron
mirror
|
-
|
Электронно-оптический элемент
электронного микроскопа, предназначенный для изменения направления осевых
составляющих скоростей электронов электронного пучка на обратное
|
10. Видеоконтрольное устройство растрового электронного
микроскопа (ВКУ)
|
-
|
Система визуального наблюдения
процессов, протекающих в растровом электронном микроскопе при взаимодействии
электронного зонда с объектом
|
11.
Электронная линза электронного микроскопа
Линза
D.
Elektronenlinse
E. Electron
lens
|
-
|
Электронно-оптический элемент,
предназначенный для фокусировки электронных пучков в электронном микроскопе
|
12. Магнитная
линза электронного микроскопа
Магнитная линза
D. Magnetische
Linse
E. Magnetic
lens
|
-
|
Электронная линза электронного
микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков магнитным
полем
|
13. Электростатическая
линза электронного микроскопа
Электростатическая линза
D. Elecktrische Linse
E. Electric
lens
|
-
|
Электронная линза электронного
микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков электрическим
полем
|
14. Формирующая линза
|
-
|
Электронная линза электронного
микроскопа, формирующая электронный зонд в плоскости объекта
|
15.
Конденсаторная линза электронного микроскопа
Конденсор
D.
Kondensorlinse
E. Condenser
lens
|
-
|
Электронная линза электронного
микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих
объект
|
16. Двойной
конденсатор электронного микроскопа
Двойной конденсор
D. Doppelkondensor
E. Double
condenser
|
-
|
Часть электронно-оптической
системы, состоящая из двух конденсаторных линз, предназначенная для
фокусировки электронных пучков, освещающих объект
|
17. Объективная
линза электронного микроскопа
Объектив
D.
Objektivlinse
E. Objective
lens
|
-
|
Электронная линза электронного
микроскопа, формирующая первое увеличенное изображение объекта
|
18. Дифракционная линза
|
-
|
Электронная линза электронного
микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его
дифракционной картины в предметной плоскости промежуточной линзы
|
19.
Промежуточная линза электронного микроскопа
Промежуточная линза
D. Zwischenlinse
E.
Intermediate lens
|
-
|
Электронная линза электронного
микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его
дифракционной картины в предметной плоскости проекционной линзы
|
20. Проекционная
линза электронного микроскопа
Проекционная линза
Ндп. Проектив
D. Projektiv
E. Projector
|
-
|
Электронная линза электронного
микроскопа, формирующая увеличенное конечное изображение объекта или его
дифракционной картины
|
21. Регистрирующая
система электронного микроскопа
Регистрирующая система
|
-
|
Устройство, предназначенное для
регистрации электронов и вторичных излучений в электронном микроскопе
|
22. Фотокамера
электронного микроскопа
Фотокамера
D.
Aufnahmekammer
E.
Photographic chamber
|
-
|
Часть регистрирующей системы
электронного микроскопа, предназначенная для фотографирования изображения в
электронных пучках
|
23. Вакуумная
система электронного микроскопа
Вакуумная система
D. Vakuumanlage
E. Vacuum
system
|
-
|
Система, предназначенная для
создания вакуума в электронном микроскопе
|
24. Юстировочная
система электронного микроскопа
Юстировочная система
|
-
|
Устройство, предназначенное для
совмещения электронного пучка с оптической осью электронно-оптической системы
электронного микроскопа
|
25. Отклоняющая
система электронного микроскопа
Отклоняющая система
D. Ablenksystem
E. Deflection
system
|
-
|
Электронно-оптический элемент
электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка
электрическими или магнитными полями
|
26. Стигматор
D. Stigmator
E. Stigmator
|
-
|
Электронно-оптический элемент
электронного микроскопа, предназначенный для исправления приосевого
астигматизма
|
27. Полюсный
наконечник электронного микроскопа
Полюсный наконечник
D. Polschuh
E. Pole piese
|
-
|
Часть магнитопровода
электронного микроскопа, концентрирующая поле магнитной линзы в приосевой
области
|
28. Колонна
электронного микроскопа
Колонна
D.
Mikroskoprohr
E. Microscope
column
|
-
|
Совокупность конструктивно
объединенных электронно-оптических и механических элементов электронного
микроскопа
|
29. Шлюзовое
устройство электронного микроскопа
Шлюз
D. Schleuse
E. Airlock
|
-
|
Устройство, предназначенное для
ввода и вывода из колонны электронного микроскопа сменных элементов без
существенного нарушения в ней рабочего вакуума
|
|
30.
Светлопольное изображение
D. Hellfeldabbildung
E.
Bright-field image
|
-
|
Изображение, сформированное в
просвечивающем электронном микроскопе электронными пучками, содержащими
нерассеянные в объекте электроны, а также рассеянные в пределах апертурного
угла объективной линзы
|
31. Темнопольное
изображение
D. Dunkelfeldabbildung
E. Dark-field
image
|
-
|
Изображение, сформированное в
просвечивающем электронном микроскопе только рассеянными в объекте
электронными пучками
|
32. Микродифракция
D.
Feinbereichsbeugung
E. Selected
ared diffraction
|
-
|
Дифракционное изображение
малого участка объекта, сформированное в задней фокальной плоскости
объективной линзы и увеличенное электронными линзами просвечивающего
электронного микроскопа
|
|
33.
Изображение во вторичных электронах
D. Abbildung
mit sekundärelelektronen
E.
Secondary-Emission mobe
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от
объекта
|
34. Изображение
в отраженных электронах
D. Abbildung
mit Rückstreuelektronen
E.
Backscackscattered Electron mode
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе с использованием отраженных от объекта
электронов
|
35. Изображение
в поглощенных электронах
D. Abbildung
mit Probenstömen
E. Absorbed
specimen current mode
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе с использованием электронов, поглощенных
объектом
|
36. Катодолюминесцентное
изображение
D. Abbildung mit Kathodolumineszenz
E.
Cathodoluminescence mode
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения,
возбуждаемого в объекте электронным зондом
|
37. Изображение
в наведенном электронным зондом токе
D. Abbildung
mit induzierten Probenströmen
E. Induced
current mode
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с
полупроводниковым объектом при воздействии на него электронного зонда
|
38. Изображение в рентгеновском характеристическом
излучении
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе с использованием характеристического
рентгеновского излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом
|
39. Изображение в Оже-электронах
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов
|
40. Изображение в прошедших электронах
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе электронами, прошедшими сквозь объект
|
41.
Изображение картин каналирования электронов
D. Abbildung
mit Channelling Diagrammen
E. Electron
Channeling Pattern mode
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования
электронных пучков в объекте
|
42. Изображение при Y-модуляции
|
-
|
Изображение, сформированное в
растровом электронном микроскопе сложением видеосигнала с током (напряжением)
кадровой развертки
|
|
43. Изображение во вторичных электронах при ионной
бомбардировке
|
-
|
Изображение, сформированное в
эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов,
возникающих при бомбардировке объекта ионами
|
44. Изображение во вторичных электронах при электронной
бомбардировке
|
-
|
Изображение, сформированное в
эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов,
возникающих при бомбардировке объекта электронами
|
45. Изображение в термоэлектронах
|
-
|
Изображение, сформированное в
эмиссионном электронном микроскопе с использованием термоэлектронов,
испускаемых объектом при нагревании
|
46. Изображение в фотоэлектронах
|
-
|
Изображение, сформированное в
эмиссионном электронном микроскопе с использованием фотоэлектронов,
испускаемых объектом под действием оптического излучения
|
|
47. Ускоряющее
напряжение электронного микроскопа
Ускоряющее напряжение
D. Beschleunigungsspannung
E.
Accelerating voltage
|
U
|
Разность потенциалов,
определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного
микроскопа
|
48. Нестабильность
напряжения электронного микроскопа
Нестабильность напряжения
|
DU
|
Самопроизвольное изменение
значения ускоряющего напряжения электронного микроскопа во времени
|
49.
Нестабильность тока электронного микроскопа
Нестабильность тока
|
Dl
|
Самопроизвольное изменение
значения тока электронного микроскопа во времени
|
50. Электронно-оптическое
увеличение электронного микроскопа
D.
Elektronenoptische Vergröberung
E. Electron
optical magnification
|
мэ
|
Отношение линейного размера
изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к
линейному размеру соответствующего элемента объекта
|
51. Общее
увеличение
D. Gesamtvergröberung
E. Total
magnification
|
мo
|
Увеличение изображения объекта,
равное произведению электронно-оптического увеличения и дополнительного
увеличения, полученного вне электронного микроскопа
|
52. Разрешающая
способность электронного микроскопа
D. Auflösungsvermögen
E. Resolving power
|
δ
|
Наименьшее расстояние между
двумя деталями объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе
|
53.
Разрешающая способность электронного микроскопа по кристаллической решетке
D. Netzebenenabbildung
E. Lattice
plane resolution
|
δр
|
Наименьшее межплоскостное
расстояние кристаллической решетки, плоскости которой изображаются раздельно
в электронном микроскопе
|
54.
Разрешающая способность электронного микроскопа по точкам
D. Punktauflösung
E. Point
resolution
|
δт
|
Наименьшее расстояние между двумя
микрочастицами объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе
|
55.
Электронная яркость
D. Richtsrtahlwert
E. Brightnes
|
В
|
Ток электронного пучка в
пределах единичного телесного угла, приходящийся на единицу площади
облучаемой поверхности
|
56. Апертурный угол формирующей линзы
|
aФ
|
Половина угла расхождения
траекторий электронов в электронном зонде
|
57.
Апертурный угол объективной линзы электронного микроскопа
Апертурный угол объективной
линзы
|
aоб
|
Половина угла расхождения
траекторий электронов, покидающих объект и формирующих изображение
|
58. Апертурный
угол осветительной системы электронного микроскопа
Апертурный угол осветительной
системы
|
aос
|
Половина угла расхождения
траекторий электронов, падающих на объект
|