Обозначение: | ГОСТ Р 8.627-2007 |
Статус: | действует |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений |
Название англ.: | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
Дата актуализации описания: | 01.07.2023 |
Дата издания: | 24.04.2007 |
Дата введения: | 01.07.2007 |
Нормативные ссылки: | ГОСТ 8.195-89;ГОСТ 8.197-2005;ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике |
|
Расположен в: |
|