Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце. Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01
Список изменений:
№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»