Настоящий стандарт устанавливает два метода определения примесей в дихлорсилане: химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров дугой постоянного тока и химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров разрядом с горячим полым катодом
Список изменений:
№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»