Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник
Список изменений:
№1 от 01.01.1988 (рег. 29.06.1987) «Срок действия продлен» №2 от 01.01.1993 (рег. 13.05.1992) «Срок действия продлен»