|
|
  ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
| Обозначение: | ГОСТ 5.2105-73 |
| Статус: | действует |
| Название рус.: | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции | | Название англ.: | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products | | Дата актуализации текста: | 06.04.2015 | | Дата актуализации описания: | 01.01.2021 | | Дата издания: | 04.10.1973 | | Дата введения: | 01.09.1973 | | Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов | |
| Расположен в: |
|
            
|
|