Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане
Список изменений:
№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»