| Обозначение: |   ГОСТ Р 8.640-2008 |
| Статус: | действует |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
| Название англ.: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
| Дата актуализации описания: | 01.07.2023 |
| Дата издания: | 15.05.2008 |
| Дата введения: | 01.01.2009 |
| Нормативные ссылки: |  ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001 |
| Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
|
| Расположен в: |
|
