ГОСТ Р 52250-2004

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Обозначение:	ГОСТ Р 52250-2004
Статус:	действует
Название рус.:	Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название англ.:	Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата актуализации текста:	06.04.2015
Дата актуализации описания:	01.07.2023
Дата издания:	02.07.2004
Дата введения:	01.01.2005
Нормативные ссылки:	ГОСТ 2.114-95;ГОСТ 12.1.005-88;ГОСТ 12.1.007-76;ГОСТ 12.1.014-84;ГОСТ 33-2000;ГОСТ 3885-73;ГОСТ 7376-89;ГОСТ 10028-81;ГОСТ 13841-95;ГОСТ 14192-96;ГОСТ 14870-77;ГОСТ 17622-72;ГОСТ 19433-88;ГОСТ 22001-87;ГОСТ 27025-86;ГОСТ Р 50766-95
Область применения:	Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Расположен в:	Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Химическая промышленность Органические химические вещества Органические химические вещества прочие Классификатор государственных стандартов Электронная техника, радиоэлектроника и связь Радиотехнические материалы Классификация, номенклатура и общие нормы