Обозначение: | ГОСТ Р 8.659-2009 |
Статус: | действует |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки |
Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure |
Дата актуализации текста: | 01.01.2021 |
Дата актуализации описания: | 01.07.2023 |
Дата издания: | 12.08.2019 |
Дата введения: | 01.01.2011 |
Нормативные ссылки: | ГОСТ 8.197;ГОСТ 8.552;ГОСТ Р 8.736 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
|
Расположен в: |
|