|
|
  ГОСТ Р 71024-2023
Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения
| Обозначение: | ГОСТ Р 71024-2023 |
| Статус: | действует |
| Название рус.: | Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения | | Название англ.: | Masked plates for photomasks. Terms and definitions | | Дата актуализации текста: | 01.01.2024 | | Дата актуализации описания: | 01.06.2024 | | Дата издания: | 07.11.2023 | | Дата введения: | 01.03.2024 | | Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов. Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и контроля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ | |
| Расположен в: |
|
           
|
|