Обозначение: |  ГОСТ Р 71994-2025 |
Статус: | принят |
Название рус.: | Системы подготовки воды для электронной промышленности |
Название англ.: | Systems of ultrapure water treatment for electronics industry |
Дата актуализации текста: | 01.06.2025 |
Дата актуализации описания: | 01.06.2025 |
Дата издания: | 31.03.2025 |
Дата введения: | 01.11.2025 |
Нормативные ссылки: | ГОСТ 31958-2012; ГОСТ 34786; ГОСТ Р 58810; ГОСТ Р 71172-2023;ГОСТ ISO/IEC 17025 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на системы получения и распределения ультрачистой (деионизованной) воды для производства изделий электронной техники. Настоящий стандарт содержит требования к ультрачистой воде. Классификация воды по качеству введена в зависимости от топологии технологического процесса производства микросхем. В настоящем стандарте установлены требования к системам получения и распределения ультрачистой воды. Требования стандарта распространяются на проектирование, монтаж, ввод в эксплуатацию, испытания, эксплуатацию и техническое обслуживание систем подготовки ультрачистой воды |
|
Расположен в: |
|