| Статус: | действует (Введен впервые) |
| Обозначение: | ГОСТ 8.592-2009 |
| Название рус.: | ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Дата актуализации текста: | 17.06.2011 |
| Дата добавления в базу: | 17.06.2011 |
| Дата введения: | 01.11.2010 |
| Разработан в: | ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
МФТИ (ГУ)
ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт" |
| Утверждён в: | Ростехрегулирование (05.04.2010) |
| Опубликован в: | Стандартинформ № 2010 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов. |
| Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа
5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры
Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления
Библиография |
| Ключевые слова: | размеры длина материал рельефные меры нанометрового диапазона растровые электронные микроскопы монокристаллический кремний формы зондовые сканирующие атомно-силовые микроскопы |
|
| Расположен в: |
|