| Статус: | действует (Введен впервые) |
| Обозначение: | ГОСТ 8.594-2009 |
| Название рус.: | ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки |
| Дата актуализации текста: | 17.06.2011 |
| Дата добавления в базу: | 17.06.2011 |
| Дата введения: | 01.11.2010 |
| Разработан в: | ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
МФТИ (ГУ)
ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт" |
| Утверждён в: | Ростехрегулирование (05.04.2010) |
| Опубликован в: | Стандартинформ № 2010 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592. |
| Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Операции и средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки и подготовка к ней
8 Проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки |
| Ключевые слова: | длина методика поверки рельефные меры нанометрового диапазона растровые электронные микроскопы |
|
| Расположен в: |
|