Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения
Название англ.:
Nanotechnologies. Part 8. Nanomanufacturing processes. Terms and definitions
Дата добавления в базу:
01.02.2017
Дата актуализации:
01.01.2021
Дата введения:
01.07.2017
Область применения:
Стандарт является частью серии стандартов ISO/TS 80004 и устанавливает термины и определения понятий в области нанотехнологий, относящихся к процессами нанотехнологического производства. Не все процессы, термины и определения которых установлены в настоящем стандарте, осуществляют в нанодиапазоне. В зависимости от возможностей управления такими процессами для изготовления продукции в качестве исходных материалов применяют и наноматериалы, и обычные материалы.
Стандарт не распространяется на оборудование, вспомогательные материалы и методы контроля, применяемые в процессах нанотехнологического производства.
Оглавление:
1 Область применения 2 Термины и определения понятий, установленные в других стандартах серии ISO/TS 80004 3 Термины и определения основных понятий, относящихся к процессам нанотехнологического производства 4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам направленной сборки 5 Термины и определения понятий, относящихся к процессам самосборки 6 Термины и определения понятий, относящихся к процессам синтеза наноматериалов 6.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам физического осаждения из газовой фазы 6.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам химического осаждения из газовой фазы 6.3 Термины и определения понятий, относящихся к физическим методам синтеза в жидкой фазе 6.4 Термины и определения понятий, относящихся к химическим методам синтеза в жидкой фазе 6.5 Термины и определения понятий, относящихся к физическим методам синтеза в твердой фазе 6.6 Термины и определения понятий, относящихся к химическим методам синтеза в твердой фазе 7 Термины и определения понятий, относящихся к процессам изготовления продукции 7.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам литографии в нанодиапазоне 7.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам осаждения 7.3 Термины и определения понятий, относящихся к процессам травления 7.4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам печати и нанесения покрытий Приложение А (справочное) Классификация процессов синтеза в зависимости от применения исходных наноматериалов или нанообъектов, применяемых для производства конечной продукции Алфавитный указатель терминов на русском языке Алфавитный указатель эквивалентов терминов на английском языке Библиография
Разработан:
ФГУП ВНИИНМАШ
Утверждён:
25.10.2016 Межгосударственный Совет по стандартизации, метрологии и сертификации (Inter-Governmental Council on Standardization, Metrology, and Certification 92-П) 09.11.2016 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (1648-ст)