ГОСТ Р 8.659-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Обозначение:	ГОСТ Р 8.659-2009
Обозначение англ:	GOST R 8.659-2009
Статус:	введен впервые
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
Дата добавления в базу:	01.02.2017
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.01.2011
Область применения:	Стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Операции поверки 4 Средства поверки 5 Требования к квалификации поверителей 6 Требования безопасности 7 Условия поверки 8 Подготовка и проведение поверки 9 Обработка результатов измерений 10 Оформление результатов поверки Библиография
Разработан:	ФГУП ВНИИОФИ
Утверждён:	15.12.2009 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (972-ст)
Издан:	Стандартинформ (2010 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Метрология и измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Метрология и измерения в целом
Нормативные ссылки:	ГОСТ 8.207-76 «Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения» ГОСТ 8.552-2001 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм» ГОСТ 8.197-2005 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0,04 до 0,25 мкм»