ГОСТ Р 8.643-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки

Обозначение:	ГОСТ Р 8.643-2008
Обозначение англ:	GOST R 8.643-2008
Статус:	введен впервые
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 - 30 nm. Verification procedure
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.02.2009
Область применения:	Стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения — ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 — 30 нм, и устанавливает методику их поверки.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Операции поверки 4 Средства поверки 5 Требования безопасности 6 Требования к квалификации поверителей 7 Условия поверки 8 Подготовка и проведение поверки    8.1 Внешний осмотр    8.2 Опробование    8.3 Определение метрологических характеристик 9 Обработка результатов поверки 10 Оформление результатов поверки Приложение А (обязательное) Определение коэффициентов зеркального и диффузного отражений
Разработан:	ФГУП ВНИИОФИ
Утверждён:	02.06.2008 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (113-ст)
Издан:	Стандартинформ (2008 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Метрология и измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Метрология и измерения в целом
Нормативные ссылки:	ГОСТ 8.207-76 «Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения» ГОСТ 8.552-2001 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм» ГОСТ 8.197-2005 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн от 0,04 до 0,25 мкм» ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения» Федеральный закон 184-ФЗ «О техническом регулировании»