ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Обозначение:	ГОСТ Р 8.640-2008
Обозначение англ:	GOST R 8.640-2008
Статус:	введен впервые
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:	State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.01.2009
Область применения:	Стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения — радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Операции поверки 4 Средства поверки 5 Требования к квалификации поверителей 6 Требования безопасности 7 Условия поверки 8 Подготовка и проведение поверки 9 Обработка результатов измерений 10 Оформление результатов поверки Приложение А (обязательное) Характеристики радиометров УФ-излучения Библиография
Разработан:	ФГУП ВНИИОФИ
Утверждён:	26.03.2008 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (60-ст)
Издан:	Стандартинформ (2008 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Метрология и измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Метрология и измерения в целом
Нормативные ссылки:	Федеральный закон 184-ФЗ «О техническом регулировании» ГОСТ 8.207-76 «Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения» ГОСТ 8.552-2001 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм» ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»