ГОСТ Р 52250-2004

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Обозначение:	ГОСТ Р 52250-2004
Обозначение англ:	GOST R 52250-2004
Статус:	введен впервые
Название рус.:	Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название англ.:	Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.01.2005
Область применения:	Стандарт распространяется на резисты для литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Стандарт применяют при разработке ТУ на резисты конкретных марок, а также совместно с ТУ при их приемке и поставке.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины, определения и сокращения 4 Классификация и основные параметры 5 Технические требования 6 Требования к обеспечению качества 7 Контроль качества и правила приемки 8 Методы контроля 9 Транспортирование и хранение 10 Указания по применению 11 Гарантии изготовителя
Разработан:	ОАО Российский научно-исследовательский институт Электростандарт ФГУП 22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ
Утверждён:	10.03.2004 Госстандарт России (Russian Federation Gosstandart 162-ст)
Издан:	ИПК Издательство стандартов (2004 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ Органические химические вещества Органические химические вещества прочие Экология ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ Органические химические вещества Органические химические вещества прочие
Нормативные ссылки:	ГОСТ 17622-72 «Стекло органическое техническое. Технические условия» ГОСТ 2.114-95 «Единая система конструкторской документации. Технические условия» ГОСТ 12.1.005-88 «Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны» ГОСТ 12.1.007-76 «Система стандартов безопасности труда. Вредные вещества. Классификация и общие требования безопасности» ГОСТ Р 50766-95 «Помещения чистые. Классификация. Методы аттестации. Основные требования» ГОСТ 12.1.014-84 «Система стандартов безопасности труда. Воздух рабочей зоны. Метод измерения концентраций вредных веществ индикаторными трубками» ГОСТ 14192-96 «Маркировка грузов» ГОСТ 7376-89 «Картон гофрированный. Общие технические условия» ГОСТ 33-2000 «Нефтепродукты. Прозрачные и непрозрачные жидкости. Определение кинематической вязкости и расчет динамической вязкости» ГОСТ 10028-81 «Вискозиметры капиллярные стеклянные. Технические условия» ГОСТ 13841-95 «Ящики из гофрированного картона для химической продукции. Технические условия» ГОСТ 14870-77 «Продукты химические. Методы определения воды» ГОСТ 19433-88 «Грузы опасные. Классификация и маркировка» ГОСТ 22001-87 «Реактивы и особо чистые вещества. Метод атомно-абсорбционной спектрометрии определения примесей химических элементов» ГОСТ 27025-86 «Реактивы. Общие указания по проведению испытаний» ГОСТ 3885-73 «Реактивы и особо чистые вещества. Правила приемки, отбор проб, фасовка, упаковка, маркировка, транспортирование и хранение»