ГОСТ 25196-82

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Обозначение:	ГОСТ 25196-82
Обозначение англ:	GOST 25196-82
Статус:	действует
Название рус.:	Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Название англ.:	Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.07.1983
Утверждён:	30.03.1982 Госстандарт СССР (USSR Gosstandart 1383)
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ Вакуумная технология Экология ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ Вакуумная технология