Обозначение: | ГОСТ Р ИСО 14644-10-2014 |
Обозначение англ: | GOST R ISO 14644-10-2014 |
Статус: | введен впервые |
Название рус.: | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений |
Название англ.: | Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration |
Дата добавления в базу: | 21.05.2015 |
Дата актуализации: | 01.01.2021 |
Дата введения: | 01.12.2015 |
Область применения: | Стандарт устанавливает систему классификации чистоты поверхностей в чистых помещениях по химическим соединениям или элементам, включая молекулы, ионы, атомы и частицы, и может применяться для всех твердых поверхностей в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, например, для стен, потолков, рабочих поверхностей, инструментов и приборов. |
Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Классификация 4.1 Принципы установления класса чистоты поверхности в чистых помещениях и контролируемых средах 4.2 Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений 4.3 Обозначение класса ИСО-SСС 4.4 Перевод массовой концентрации в численную концентрацию атомов 5 Контроль чистоты поверхности по концентрации химических загрязнений и проверка соответствия 5.1 Критерии оценки частоты 5.2 Протоколы контроля Приложение А (справочное) Соотношение между различными единицами концентрации химических загрязнений на поверхности Приложение В (справочное) Факторы, влияющие на проведение контроля и его результаты Приложение С (справочное) Существенные условия для правильной оценки чистоты Приложение D (справочное) Методы определения чистоты поверхности по концентрации химических загрязнений Приложение Е (справочное) Протокол контроля чистоты Приложение ДА (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов ссылочным национальным стандартам Российской Федерации и действующим в этом качестве межгосударственным стандартам Библиография |
Разработан: | АСИНКОМ
|
Утверждён: | 24.10.2014 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (1407-ст)
|
Издан: | Стандартинформ (2014 г. )
|
Расположен в: |
|
Нормативные ссылки: | |