ГОСТ 19658-81

Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия

Обозначение:	ГОСТ 19658-81
Обозначение англ:	GOST 19658-81
Статус:	действует
Название рус.:	Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
Название англ.:	Silicon monocrystalline in ingots. Specifications
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.01.1983
Область применения:	Стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник.
Оглавление:	1 Технические требования 2 Правила приемки 3 Методы контроля 4 Упаковка, маркировка, транспортирование и хранение 5 Гарантии изготовителя Приложение 1а Приложение 1 Определение монокристалличности и отсутствия внешних дефектов на поверхности слитков кремния Приложение 2 Определение типа электропроводности Приложение 3 Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом Приложение 4 Определение плотности дислокаций в монокристаллических слитках кремния Приложение 5 Измерение угла отклонения плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния от заданной кристаллографической плоскости и идентификация кристаллографической ориентации плоскости торцевого среза слитка с заданной кристаллографической плоскостью рентгеновским дифрактометрическим методом Приложение 6 Определение ула отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллографической плоскости слитков монокристаллического кремния оптическим методом Приложение 7 Измерение концентрации атомов оптически активного кислорода в слитках монокристаллического кремния Приложение 8 Измерение времени жизни неравновесных носителей заряда (н.н.з.) в слитках монокристаллического кремния методом модуляции проводимости в точечном контакте Приложение 8а Измерение концентрации атомов оптически активного углерода в слитках монокристаллического кремния Приложение 9 Контроль наличия свирлевых дефектов в бездислокационных слитках монокристаллического кремния
Разработан:	Министерство цветной металлургии СССР
Утверждён:	27.02.1981 Госстандарт СССР (USSR Gosstandart 1090)
Издан:	ИПК Издательство стандартов (2001 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия ЭЛЕКТРОТЕХНИКА Полупроводниковые материалы Экология ЭЛЕКТРОТЕХНИКА Полупроводниковые материалы
Заменяет собой:	ГОСТ 19658-74 «Кремний монокристаллический. Технические требования. Маркировка, упаковка, транспортирование и хранение»
Нормативные ссылки:	ГОСТ 2.004-88 «Единая система конструкторской документации. Общие требования к выполнению конструкторских и технологических документов на печатающих и графических устройствах вывода ЭВМ» ГОСТ 14192-96 «Маркировка грузов» ГОСТ 10354-82 «Пленка полиэтиленовая. Технические условия» ГОСТ 427-75 «Линейки измерительные металлические. Технические условия» ГОСТ 20477-86 «Лента полиэтиленовая с липким слоем. Технические условия» ГОСТ 5017-74 «Бронзы оловянные, обрабатываемые давлением. Марки» ГОСТ 2874-82 «Вода питьевая. Гигиенические требования и контроль за качеством» ГОСТ 2263-79 «Натр едкий технический. Технические условия» ГОСТ 11069-74 «Алюминий первичный. Марки» ГОСТ 3647-80 «Материалы шлифовальные. Классификация. Зернистость и зерновой состав. Методы контроля» ГОСТ 10197-70 «Стойки и штативы для измерительных головок. Технические условия» ГОСТ 10484-78 «Реактивы. Кислота фтористоводородная. Технические условия» ГОСТ 11078-78 «Натр едкий очищенный. Технические условия» ГОСТ 11109-90 «Марля бытовая хлопчатобумажная. Общие технические условия» ГОСТ 11125-84 «Кислота азотная особой чистоты. Технические условия» ГОСТ 12026-76 «Бумага фильтровальная лабораторная. Технические условия» ГОСТ 12997-84 «Изделия ГСП. Общие технические условия» ГОСТ 1367.0-83 «Сурьма. Общие требования к методам анализа» ГОСТ 17299-78 «Спирт этиловый технический. Технические условия» ГОСТ 1770-74 «Посуда мерная лабораторная стеклянная. Цилиндры, мензурки, колбы, пробирки. Общие технические условия» ГОСТ 18270-72 «Кислота уксусная особой чистоты. Технические условия» ГОСТ 18300-87 «Спирт этиловый ректификованный технический. Технические условия» ГОСТ 24392-80 «Кремний и германий монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом» ГОСТ 2548-77 «Ангидрид хромовый технический. Технические условия» ГОСТ 25593-83 «Пасты алмазные. Технические условия» ГОСТ 2567-89 «Кислота фтористоводородная техническая. Технические условия» ГОСТ 26239.1-84 «Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей» ГОСТ 29298-92 «Ткани хлопчатобумажные и смешанные бытовые. Общие технические условия» ГОСТ 29329-92 «Весы для статического взвешивания. Общие технические требования» ГОСТ 334-73 «Бумага масштабно-координатная. Технические условия» ГОСТ 3776-78 «Реактивы. Хрома (VI)окись. Технические условия» ГОСТ 4160-74 «Реактивы. Калий бромистый. Технические условия» ГОСТ 4220-75 «Реактивы. Калий двухромовокислый. Технические условия» ГОСТ 4461-77 «Реактивы. Кислота азотная. Технические условия» ГОСТ 5959-80 «Ящики из листовых древесных материалов неразборные для грузов массой до 200 кг. Общие технические условия» ГОСТ 5962-67 «Спирт этиловый ректификованный. Технические условия» ГОСТ 61-75 «Реактивы. Кислота уксусная. Технические условия» ГОСТ 701-89 «Кислота азотная концентрированная. Технические условия» ГОСТ 9206-80 «Порошки алмазные. Технические условия» ГОСТ 9285-78 «Калия гидрат окиси технический. Технические условия» ГОСТ 9412-93 «Марля медицинская. Общие технические условия» ГОСТ 9696-82 «Индикаторы многооборотные с ценой деления 0,001 и 0,002 мм. Технические условия»