На главную | База 1 | База 2 | База 3
Сертификация продукции Сертификат соответствия Пожарный сертификат Протокол испытаний Строительство Составление смет Проектные работы Строительные работы Строительная экспертиза Обследование зданий Оценка недвижимости Контроль качества строительства Промышленная безопасность Тепловизионный контроль Ультразвуковой контроль Георадарное сканирование Скачать базы Государственные стандартыСтроительная документацияТехническая документацияАвтомобильные дороги Классификатор ISO Мостостроение Национальные стандарты Строительство Технический надзор Ценообразование Экология Электроэнергия

ГОСТ 8.592-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение: ГОСТ 8.592-2009
Обозначение англ: GOST 8.592-2009
Статус:введен впервые
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название англ.:State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measure. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:01.02.2020
Дата введения:01.11.2010
Область применения:Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в степени минус девять до 10 в степени минус шесть м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа
5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры
Приложение А технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления
Библиография
Разработан: ОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
Утверждён:11.11.2009 Межгосударственный Совет по стандартизации, метрологии и сертификации (Inter-Governmental Council on Standardization, Metrology, and Certification 36)
05.04.2010 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (56-ст)
Издан: Стандартинформ (2010 г. )
Расположен в:Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом
Нормативные ссылки:
ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009ГОСТ 8.592-2009