ГОСТ Р 8.644-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

Обозначение:	ГОСТ Р 8.644-2008
Обозначение англ:	GOST R 8.644-2008
Статус:	введен впервые
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.06.2009
Область применения:	Стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Технические требования 5 Требования к квалификации калибровщиков 6 Требования по обеспечению безопасности 7 Подготовка к процедуре калибровки 8 Процедура проведения измерений 9 Обработка результатов измерений 10 Оценка неопределенности измерений параметров 11 Оформление результатов калибровки Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха Библиография
Разработан:	ОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума Государственное образовательное учреждение высшего професионального образования Московский физико-технический институт (государственный университет) ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
Утверждён:	26.08.2008 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (186-ст)
Издан:	Стандартинформ (2008 г. ) Стандартинформ (2010 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом
Нормативные ссылки:	ГОСТ 12.2.061-81 «Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам» ГОСТ 12.1.040-83 «Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положения» ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1» ГОСТ ИСО 14644-1-2002 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха» ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация» ГОСТ Р 8.628-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»