На главную | База 1 | База 2 | База 3
Испытания и Сертификация Испытательный центр Орган по сертификации Строительная экспертиза Обследование зданий Тепловизионный контроль Ультразвуковой контроль Проектные работы Контроль качества строительства Скачать базы Государственные стандартыСтроительная документацияТехническая документацияАвтомобильные дороги Классификатор ISO Мостостроение Национальные стандарты Строительство Технический надзор Ценообразование Экология ЭлектроэнергияПоддержать проект
Поддержать проект
Скачать базу одним архивом
Скачать обновления

ГОСТ Р 8.628-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение: ГОСТ Р 8.628-2007
Обозначение англ: GOST R 8.628-2007
Статус:введен впервые
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название англ.:State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:01.01.2021
Дата введения:01.02.2008
Область применения:Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа
5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры
Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления
Библиография
Разработан: ОАО НИЦ по изучению свойств поверхности и вакуума
ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
Утверждён:21.05.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (96-ст)
Издан: Стандартинформ (2007 г. )
Стандартинформ (2011 г. )
Расположен в:Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Строительство Стандарты Другие государственные стандарты, применяемые в строительстве Метрология и измерения. Физические явления
Список изменений:
Нормативные ссылки:
ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007ГОСТ Р 8.628-2007