ГОСТ Р 8.628-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение:	ГОСТ Р 8.628-2007
Обозначение англ:	GOST R 8.628-2007
Статус:	введен впервые
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.02.2008
Область применения:	Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа 5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления Библиография
Разработан:	ОАО НИЦ по изучению свойств поверхности и вакуума ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
Утверждён:	21.05.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (96-ст)
Издан:	Стандартинформ (2007 г. ) Стандартинформ (2011 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Строительство Стандарты Другие государственные стандарты, применяемые в строительстве Метрология и измерения. Физические явления
Список изменений:	№ 1 от 01.04.2011 (ИУС 2-2011)
Нормативные ссылки:	ГОСТ 19658-81 «Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия» ГОСТ Р 8.630-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки» ГОСТ Р 8.631-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки» ГОСТ Р 8.629-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки» ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения» РМГ 29-99 «Государственная система обеспечения единства измерений. Метрология. Основные термины и определения» Федеральный закон 184-ФЗ «О техническом регулировании»