ГОСТ Р 8.631-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки

Обозначение:	ГОСТ Р 8.631-2007
Обозначение англ:	GOST R 8.631-2007
Статус:	введен впервые
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Methods for verification
Дата добавления в базу:	01.09.2013
Дата актуализации:	01.01.2021
Дата введения:	01.02.2008
Область применения:	Стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Операции и средства поверки 5 Требования к квалификации поверителей 6 Требования безопасности 7 Условия поверки и подготовка к ней 8 Проведение поверки 9 Обработка результатов измерений 10 Оформление результатов поверки Библиография
Разработан:	ОАО НИЦ по изучению свойств поверхности и вакуума ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
Утверждён:	21.05.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (99-ст)
Издан:	Стандартинформ (2007 г. ) Стандартинформ (2011 г. )
Расположен в:	Техническая документация Электроэнергия МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Экология МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом
Нормативные ссылки:	ГОСТ 12.2.061-81 «Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам» ПОТ Р М-016-2001 «Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок» ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1» СанПиН 2.2.2/2.4.1340-03 «Гигиенические требования к персональным электронно-вычислительным машинам и организации работы» СанПиН 2.2.4.1191-03 «Электромагнитные поля в производственных условиях» ГОСТ ИСО 14644-1-2002 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха» ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация» ГОСТ Р 8.628-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления» ГОСТ Р 1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения» ГОСТ Р 8.629-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки» ПТЭ «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей» ГОСТ 21006-75 «Микроскопы электронные. Термины, определения и буквенные обозначения» ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха» Федеральный закон 184-ФЗ «О техническом регулировании»