| Обозначение | Дата введения | Статус |
   ГОСТ 14715-88 Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры | 01.01.1990 | взамен |
| Область применения: Стандарт распространяется на сверхвысоковакуумные угловые клапаны и прямоходные затворы климатического исполнения УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150, работающие в диапазоне давлений до 1 · 10-7 Па и имеющие уплотнители, выполненные из термостойкой резины и допускающие прогрев до температуры не ниже 150 °С.
Стандарт не распространяется на затворы с поворотной заслонкой, а также на вакуумную арматуру специального назначения. Заменяет собой: |
| ГОСТ 18626-73 Проходы условные элементов вакуумных систем. Основные размеры | 01.01.1976 | отменен в рф |
| Область применения: Стандарт распространяется на элементы вакуумных ситем и устанавливает ряд номинальных размеров условных проходов. |
| ГОСТ 24206-80 Приборы и устройства пневматические для математических операций ГСП. Общие технические условия | 01.01.1982 | действует |
Область применения: Стандарт распространяется на пневматические приборы и устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для выполнения математических операций с унифицированными аналоговыми пневматическими сигналами. Заменяет собой:  ГОСТ 16134-70 «Приборы и устройства алгебраических операций пневматические ГСП. Типы и основные параметры» - ГОСТ 17560-72 «Приборы и устройства для алгебраических операций пневматические ГСП. Технические требования»
|
| ГОСТ 24934-81 Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | отменен в рф |
| Область применения: Стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники и устанавливает основные и присоединенные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032. |
| ГОСТ 24935-81 Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | отменен в рф |
| Область применения: Стандарт распространяется на поворотные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных, накидных фланцев и распорных колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 по ГОСТ 8032-56. |
| ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | 01.07.1983 | действует |
| |
| ГОСТ 25197-82 Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры | 01.07.1983 | действует |
| |
| ГОСТ 25198-82 Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры | 01.07.1983 | отменен в рф |
| Область применения: Стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазон давлений от 10 в степени 5 до 10 в степеи -5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5 по ГОСТ 8032-84. |
| ГОСТ 25662-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний | 01.01.1984 | частично отменен в рф |
| |
| ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний | 01.01.1984 | частично отменен в рф |
| Область применения: Стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия. |