Библиотека государственных стандартов

Дата актуализации: 01.06.2026

Обозначение	Дата введения	Статус
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей	01.01.1986	действует
Название англ.: Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане Нормативные ссылки: ГОСТ 123-78;ГОСТ 804-72;ГОСТ 849-70;ГОСТ 859-78;ГОСТ 1277-75;ГОСТ 1467-77;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3778-77;ГОСТ 4331-78;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 4526-75;ГОСТ 4530-76;ГОСТ 5905-79;ГОСТ 6008-82;ГОСТ 6835-80;ГОСТ 6836-80;ГОСТ 10216-75;ГОСТ 10262-73;ГОСТ 10928-75;ГОСТ 11069-74;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 13610-79;ГОСТ 13637.1-77;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 16539-79;ГОСТ 17746-79;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 22516-77;ГОСТ 23463-79;ГОСТ 26239.0-84;ТУ 6-09-5382-88
ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора	01.01.1986	действует
Название англ.: Semiconductor selicon, raw materials for its production and quartz. Methods of boron determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения бора в полупроводниковом кремнии, в двуокиси кремния и кварце, в четыреххлористом кремнии и трихлорсилане и атомно-эмиссионный метод определения бора в техническом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 83-79;ГОСТ 195-77;ГОСТ 244-76;ГОСТ 2603-79;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 3773-72;ГОСТ 4160-74;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 8321-74;ГОСТ 8429-77;ГОСТ 9656-75;ГОСТ 10007-80;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 13637.1-77;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 14262-78;ГОСТ 14919-83;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 19627-74;ГОСТ 20292-74;ГОСТ 23463-79;ГОСТ 26239.0-84;ГОСТ 26239.1-84;ТУ 6-09-05-504-76;ТУ 6-09-3011-73;ТУ 6-09-3401-88;ТУ 6-09-4305-76
ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора	01.01.1986	действует
Название англ.: Semiconductor selicon, raw materials for its production and quartz. Methods of phosphorus determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 2603-79;ГОСТ 3765-78;ГОСТ 4198-75;ГОСТ 4328-77;ГОСТ 6006-78;ГОСТ 6259-75;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 9285-78;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 10931-74;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 20288-74;ГОСТ 20490-75;ГОСТ 26239.0-84;ГОСТ 26239.1-84;ТУ 6-09-5384-88;ОСП 72/80
ГОСТ 26239.4-84 Дихлорсилан. Методы определения примесей	01.01.1986	действует
Название англ.: Dichlorsilane. Methods of inpurities determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает два метода определения примесей в дихлорсилане: химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров дугой постоянного тока и химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров разрядом с горячим полым катодом Нормативные ссылки: ГОСТ 123-78;ГОСТ 804-72;ГОСТ 849-70;ГОСТ 859-78;ГОСТ 860-75;ГОСТ 1277-75;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3778-77;ГОСТ 5905-79;ГОСТ 6008-82;ГОСТ 6836-80;ГОСТ 8321-74;ГОСТ 10297-75;ГОСТ 10691.0-84;ГОСТ 10928-75;ГОСТ 11069-74;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 13637.1-77;ГОСТ 13874-83;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 16024-79;ГОСТ 17746-79;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20292-74;ГОСТ 23463-79;ГОСТ 26239.0-84
ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей	01.01.1986	действует
Название англ.: Semiconductor silicon and quartz. Method of impurities determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце. Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01 Нормативные ссылки: ГОСТ 123-78;ГОСТ 618-73;ГОСТ 859-78;ГОСТ 1089-82;ГОСТ 1277-75;ГОСТ 2603-79;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3765-78;ГОСТ 4220-75;ГОСТ 4233-77;ГОСТ 4328-77;ГОСТ 4331-78;ГОСТ 4951-79;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 6835-80;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 10297-75;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 11125-78;ГОСТ 12797-77;ГОСТ 13610-79;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 18289-78;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 18344-78;ГОСТ 24104-88;ГОСТ 26239.0-84;ОСП 72/87
ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана	01.01.1986	действует
Название англ.: Silicon tetrachloride. Method of dichlorsilane, trichlorsilane, silicon tetrachloride, 1,3,3,3-tetrachlordisiloxane, 1,1,3,3-tetrachlordisilane, pentachlordisiloxane, hexachlordisiloxane, hexaclordisilane determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана в четыреххлористом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 2603-79;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 26239.0-84
ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота	01.01.1986	действует
Название англ.: Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами Нормативные ссылки: ГОСТ 334-73;ГОСТ 742-78;ГОСТ 828-77;ГОСТ 2156-76;ГОСТ 3647-80;ГОСТ 3760-79;ГОСТ 4204-77;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 4828-83;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 10297-75;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20288-74;ГОСТ 26239.0-84;ОСП-72/87
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния	01.01.1986	действует
Название англ.: Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом Нормативные ссылки: ГОСТ 2603-79;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 25336-82;ГОСТ 26239.0-84
ГОСТ 26239.9-84 Трихлорсилан. Метод определения хлористого метила, хлористого этила, бутана, изобутана, хлористого метилена, хлороформа, четыреххлористого углерода, метилдихлорсилана, метилтрихлорсилана, хлорметилметилсилана	01.01.1986	действует
Название англ.: Trichlorsilane. Method of methyl chloride, ethyl chloride, butane, isobutane, methylene, chloroform, carbon tetrachloride, methyltrichlorsilane, chlormethylmethylsilane determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает газохроматографический метод определения компонентов в трихлорсилане Нормативные ссылки: ГОСТ 2769-78;ГОСТ 3022-80;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 6521-72;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 9968-86;ГОСТ 10157-79;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 26239.0-84;ГОСТ ЭД1 7164-78
ГОСТ 26242-90 Системы числового программного управления. Преобразователи перемещений. Общие технические условия	01.01.1991	действует
Название англ.: Numerical control systems. Transducers of displacements. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на преобразователи перемещений, являющиеся средством автоматизации и предназначенные для использования в системах автоматического регулирования станков и (или) для информационной связи по положению между исполнительными механизмами станка, промышленного робота и устройством числового программного управления, а также в системах автоматического или автоматизированного контроля, регулирования и управления других областей техники. Стандарт не распространяется на преобразователи, входящие в устройства контроля геометрических размеров обрабатываемых деталей Нормативные ссылки: ГОСТ 26242-84, ГОСТ 2.601-68;ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 9.014-78;ГОСТ 9.032-74;ГОСТ 12.2.007.0-75;ГОСТ 26.011-80;ГОСТ 26.013-81;ГОСТ 12997-84;ГОСТ 14192-77;ГОСТ 14254-80;ГОСТ 15150-69;ГОСТ 16962-71;ГОСТ 17230-71;ГОСТ 17516-72;ГОСТ 18953-73;ГОСТ 21021-85;ГОСТ 21657-83;ГОСТ 23222-88;ГОСТ 26964-86