| Обозначение | Дата введения | Статус |
  ГОСТ 8.591-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки | 01.11.2010 | действует |
Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measure with trapezoidal profile of elements. Verification method Область применения: Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер Нормативные ссылки:  ГОСТ Р 8.629-2007, ГОСТ 8.592;ГОСТ 12.1.040;ГОСТ 12.2.061;ГОСТ ИСО 14644-1;ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 |
| ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления | 01.11.2010 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements Область применения: Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов Нормативные ссылки: ГОСТ Р 8.628-2007, ГОСТ 8.591;ГОСТ 8.593;ГОСТ 8.594;ГОСТ 19658 |
| ГОСТ 8.593-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки | 01.11.2010 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Method for verification Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592 Нормативные ссылки: ГОСТ Р 8.630-2007, ГОСТ 8.591;ГОСТ 8.592;ГОСТ 12.2.061;ГОСТ ИСО 14644-1;ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 |
| ГОСТ 8.594-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки | 01.11.2010 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Method for verification Область применения: Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592 Нормативные ссылки: ГОСТ 8.591;ГОСТ 8.592;ГОСТ 12.2.0611;ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 |
| ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления | 01.02.2008 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection Область применения: Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов Нормативные ссылки: ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р 8.630-2007;ГОСТ Р 8.631-2007;ГОСТ 19658-81 |
| ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки | 01.02.2008 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for verification Область применения: Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют при измерении линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер. Межповерочный интервал рельефной меры - один год Нормативные ссылки: ГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.1.040-83;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002 |
| ГОСТ Р 8.630-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки | 01.02.2008 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe measuring microscopes. Methods for verification Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал микроскопа - один год Нормативные ссылки: ГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002 |
| ГОСТ Р 8.631-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки | 01.02.2008 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification Область применения: Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес. Нормативные ссылки: ГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002 |
| ГОСТ Р 8.635-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки | 01.08.2008 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Atomic-forсe scanning probe microscopes. Method for calibration Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 Нормативные ссылки: ГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002 |
| ГОСТ Р 8.636-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки | 01.08.2008 | действует |
| Название англ.: State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration Область применения: Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 Нормативные ссылки: ГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002 |